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硅片回收的切片、退火、倒角

作者: 来源: 日期:2019/5/27 14:54:02 人气:1685
硅片回收是新能源回收利用由专业机构专业回收废或过期原生多晶硅,125太阳能单晶电池片,156太阳能多晶片(整片,碎片),抛光片,头尾料,半导体硅片,及稀有金属硅片回收工艺流程具体介绍如下: 

切片:将单晶硅棒切成具有精确几何尺寸的薄硅片。此过程中产生的硅粉采用水淋,产生废水和硅渣。 

退火:双工位热氧化炉经氮气吹扫后,用红外加热至300~500℃,硅片表面和氧气发生反应,使硅片表面形成二氧化硅保护层。

倒角:将退火的硅片进行修整成圆弧形,防止硅片边缘破裂及晶格缺陷产生,增加磊晶层及光阻层的平坦度。此过程中产生的硅粉采用水淋,产生废水和硅渣。
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